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Veeco Dimension D3100 AFM
性能参数
扫图最宽范围为90um*90um,最深台阶＜10um。Z轴精度可达0.1nm，XY精度可达1nm。
服务功能
可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。
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