对CCD探测器进行标定,获取定量信息
超短脉冲激光脉冲宽度
基板曝光工艺
光刻版曝光制备以及样片直写曝光
对大量在紫外及可见波长范围没有吸收的有机化合物的光化学进行研究,也可对在紫外-可见波长范围有吸收的有机化合物的高级激发态的光化学进行研究,探讨深紫外光化学反应、
紫外曝光,微加工
用于III-V族、II-VI族和硅锗及其氧化物、氮化物等压电材料和压电光电子材料微纳结构的制备。
光谱监测
光束质量分析